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隆彦 柳谷
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柳谷隆彦
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A5017089950
圧電・超音波材料 ScAlNとPbTiO 3 エピタキシャル薄膜を用いた高効率超音波トランスデューサの現状
2021
·
岩田直也
, 柳谷隆彦
·
超音波techno
低圧スパッタ法により増大する負イオン照射がScAIN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 (特集 圧電材料の研究と応用)
2020
·
卓海 冨永
, 真司 髙柳
, et al.
·
超音波techno
ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制-電子ビーム溶融,アーク溶融,焼結ScAl合金ターゲットの比較- | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
2019
·
柳谷隆彦
YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数k t 2 の増幅
2019
·
木原流唯
, 柳谷隆彦
·
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
横波モードのc軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯液体粘性評価 (電子回路研究会・圧電材料・デバイスと応用)
2018
·
巧 五月女
, 愉生 山川
, et al.
·
Medical Entomology and Zoology
常誘電相pmn-pt/強誘電相pzt分極反転エピ膜音響共振子のスイッチング特性 (電子回路研究会・圧電材料・デバイスと応用)
2018
·
隆太 野田
, 貴博 清水
, et al.
·
Medical Entomology and Zoology
圧電・超音波材料 スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
2018
·
真司 高柳
, 隆彦 柳谷
·
超音波techno
製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ～
2018
·
嶺 唐澤
, 真司 高柳
, et al.
基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ～ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ～
2018
·
誠 戸塚
, 隆彦 柳谷
周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相pmn-pt/強誘電相pzt分極反転エピ膜音響共振子
2018
·
貴博 清水
, 隆彦 柳谷
·
IEICE technical report. Speech
周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相pmn-pt/強誘電相pzt分極反転エピ膜音響共振子
2018
·
清水貴博
, 柳谷隆彦
圧電・超音波材料 スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響
2018
·
高柳真司
, 柳谷隆彦
·
超音波techno
ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価
2017
·
愉生 山川
, 耕平 佐野
, et al.
電気機械結合係数kt2=19％のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ
2017
·
耕平 佐野
, 嶺 唐澤
, et al.
抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なpzt/ptエピ膜分極反転共振子
2017
·
清水貴博
, 森剛志
, et al.
電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ
2017
·
佐野耕平
, 唐澤嶺
, et al.
ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ (超音波)
2016
·
剛志 森
, 雅視 鈴木
, et al.
·
IEICE technical report. Speech
2P1-7 H_2O導入スパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数
2015
·
千裕 高田
, 真司 高柳
, et al.
·
超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
3j1-5 走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定
2015
·
浩士朗 寺田
, 宏明 西川
, et al.
·
超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
3J3-2 IBAD法によるc軸平行配向ScAlN薄膜の形成とすべりモード共振子への応用
2015
·
峰生 岡
, 真司 高柳
, et al.
·
超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
3P3-2 c軸傾斜Sc_xAl_ N薄膜(0
2015
·
雅視 鈴木
, 隆彦 柳谷
·
超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
3J2-2 Al極性ScAlN/O極性ZnO極性反転多層構造を用いたGHz帯高効率トランスデューサ
2015
·
剛志 森
, 雅視 鈴木
, et al.
·
超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
1p5-4 皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討
2015
·
沙弥果 松川
, 駿貴 森
, et al.
·
超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用 (超音波)
2015
·
彰子 日山
, 隆彦 柳谷
, et al.
·
IEICE technical report. Speech
低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW, Lamb波デバイスへの応用 (超音波)
2015
·
真司 高柳
, 隆彦 柳谷
, et al.
·
IEICE technical report. Speech
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