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F.‐W. Breitbarth

Observed names: Breitbarth, F., F. -W. Breitbarth, F. W. BREITBARTH, F. W. Breitbarth, F.-W. Breitbarth, F.W. Breitbarth, F.‐W Breitbarth, FRIEDRICH BREITBARTH, Friedrich Breitbarth

Institution: Friedrich Schiller University Jena

Observed institutions: Friedrich Schiller University Jena, University of Tübingen

OpenAlex ID: A5030320919

Investigation of the low-pressure plasma-chemical conversion of fluorocarbon waste gases

1997 · F. W. Breitbarth, D. Berg, et al. · Plasma Chemistry and Plasma Processing · 31

EPR investigation of plasma-chemical resist etching in O2 and O2/CF4 discharges

1990 · F. -W. Breitbarth, E. Ducke, et al. · Plasma Chemistry and Plasma Processing · 20

Investigation of radical reactions in C2Cl4 and C2Cl4/O2 discharges by EPR, mass, and emission spectroscopy

1986 · F. -W. Breitbarth, S. Rottmayer · Plasma Chemistry and Plasma Processing · 13

Untersuchungen an elektronenleitenden Oxidsystemen, XIV. Feste Lösungen und Leitfähigkeit im System MgTiO3Ti2O3

1990 · A. Feltz, M. Steinbrück, et al. · Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie · 11

Plasma-chemical reactions in weakly decomposed CCl4

1985 · F. -W. Breitbarth, H. -J. Tiller, et al. · Plasma Chemistry and Plasma Processing · 10

A continuous emission in weakly excited CCl4 discharges. CCl3 as possible emitter

1988 · F.-W. Breitbarth, D. Berg · Chemical Physics Letters · 9

On the excitation of CCl(A 2δ) in CCl4 and CCl4/rare gas discharges

1987 · F.-W. Breitbarth, D. Berg, et al. · Chemical Physics Letters · 8

EPR spectroscopic investigation of the sol–gel transition in modified tetraethylorthosilicate gels

2003 · T. Breyer, F.W. Breitbarth, et al. · Journal of Colloid and Interface Science · 7

Spectroscopic investigation of energy-transfer reactions in BCl3/N2 discharges

1992 · F. -W. Breitbarth · Plasma Chemistry and Plasma Processing · 7

Emissionspectroscopic Investigation of Bci3 Discharges

1990 · F.‐W. Breitbarth, E. Ducke · Contributions to Plasma Physics · 6

On mass- and emission spectroscopic CVD process monitoring of organometallics/O2 discharges

1993 · F. -W. Breitbarth, J. Bald, et al. · Plasma Chemistry and Plasma Processing · 5

Nachweis von radikalischen Zersetzungsprodukten in CCl4‐Entladungen mit der EPR‐Spektroskopie

1981 · F.‐W Breitbarth, H.‐J. Tiller · Beiträge aus der Plasmaphysik · 5

Plasmapolymerisation an Oberflächen

1972 · Hans‐Jürgen Tiller, Friedrich Breitbarth, et al. · Zeitschrift für Chemie · 5

EPR studies in the solid solution series MgTiO3–Ti2O3 and Mg2TiO4–MgTi2O4

1991 · F. W. Breitbarth, A. Feltz, et al. · physica status solidi (a) · 4

Zum Mechanismus der Polymerisation von Butadien mittels Trimesitylvanadium

1986 · F. W. Breitbarth, H. Hartung, et al. · Acta Polymerica · 4

Emission Spectroscopic Investigation of the Decomposition of CCl4 in Plasma Etching Processes

1983 · H.‐J. Tiller, F.‐W. Breitbarth, et al. · Beiträge aus der Plasmaphysik · 4

Bildung von paramagnetischen Defekten in SiO2‐Glas nach Oberflächenbehandlung im Niederdruckplasma

1977 · H.‐J. Tiller, P. Busack, et al. · Kristall und Technik · 4

Trap-assisted tunneling in metal-insulator-metal structures using films of styrene glow-polymer

1974 · F.-W. Breitbarth · physica status solidi (a) · 3

Dry Patterning of Al and Al Alloys

1986 · D. Sameith, H.‐J. Tiller, et al. · Crystal Research and Technology · 2

Reactivity of CCl4 plasma against SiO2 surfaces

1983 · H.‐J. Tiller, R. Göbel, et al. · Crystal Research and Technology · 2

Zersetzung von CCl4 im HF‐Niederdruckplasma für plasmachemisches Ätzen von Aluminium

1981 · H.‐J. Tiller, R. Mohr, et al. · Beiträge aus der Plasmaphysik · 2

Preparation of silicon oxynitrides by the reaction of ammonia with high disperse silica

2002 · B. Truckenbrodt, F.‐W. Breitbarth, et al. · Bulletin of The Polish Academy of Sciences-chemistry

EPR spectroscopic and rheological investigation during sol-gel transition in the systems TEOS/ethanol/water and sodium water-glass

2000 · T. Breyer, F.‐W. Breitbarth, et al. · Bulletin of The Polish Academy of Sciences-chemistry

ChemInform Abstract: Electronically Conducting Oxide Systems. Part 14. Solid Solutions and Conductivity in the System MgTiO3‐Ti2O3.

1991 · A. FELTZ, M. STEINBRUECK, et al. · ChemInform

Investigation of plasma interaction with carbon impurities on SiO2‐ and Al2O3 surfaces by EPR‐, Mass‐ and emission spectroscopy

1981 · H.‐J. Tiller, F.‐W. Breitbarth, et al. · Kristall und Technik

Works count: 28

Citation count: 162

H-index: 7

I10-index: 5