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慎哉 吉田

Observed name: 吉田 真哉
Institution: Tohoku University
Observed institution: Tohoku University
OpenAlex ID: A5044112956
国際会議報告：The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2022) 報告
2022 · 慎哉 吉田 · IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
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良好な絶縁性を有する c 軸配向PZT系単結晶薄膜のSi基板上への形成
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17×17並列電子源駆動システムの開発 (特集 マイクロ・ナノ医療デバイス)
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2015 · 健太 奥田, 慎哉 吉田, et al. · 新線路
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167 Mems用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発(情報・知能・精密機器/技術と社会,一般講演)
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