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晃宏 内山

Observed name: 内山, 晃宏
OpenAlex ID: A5046682964
Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure
2022 · 柴田, 滉平, Shibata, Kohei, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement
2022 · 大西, 哲, Onishi, Akira, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討
2021 · 柴田, 滉平, Shibata, Kohei, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討
2021 · 大西, 哲, Onishi, Akira, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
1軸差動型cmos-mems加速度センサの統合設計シミュレーションの検討
2021 · 柴田, 滉平, Shibata, Kohei, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer
2021 · 市川, 崇志, Itikawa, Takasi, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
Au錘1軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討 (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
2020 · 晃宏 内山, 達也 古賀, et al. · 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討
2020 · 内山, 晃宏, Uchiyama, Akihiro, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討
2020 · 市川, 崇志, Itikawa, Takasi, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
マイクロgレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型mems加速度センサ
2020 · 内山, 晃宏, Uchiyama, Akihiro, et al. · Institutional Repositories DataBase (IRDB)
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