バイポーラ高出力マグネトロンスパッタリングの多診断研究:電気的パラメータの役割【jst・京大機械翻訳】
Year: 2020
Type: article
Authors: M Michiels, T Godfroid, R Snyders, N Britun
Language: Japanese
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W3177758271