モノリシックpzt多軸マイクロステージ (特集 Memsデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい)
Year: 2009
Type: article
Source: マテリアルインテグレ-ション
Authors: 崇人 小野, モハマド ファイズル, 慎哉 吉田
Language: Japanese
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W371900606
FWCI:
Cites:
Cited by:
Related to: