Impact of the Liquid/Solid Interface on the Strain State of Si1-XGex Layers Processed By Nanosecond Laser Annealing
Year: 2022
Type: conference-abstract
Source: ECS Meeting Abstracts
Institutions: Centre National de la Recherche Scientifique, Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes, Université de Toulouse, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, CEA Grenoble, Laboratoire d'Électronique des Technologies de l'Information, Université Grenoble Alpes, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, Institute for Microelectronics and Microsystems
Language: English
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W4285399089