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Etude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysiques

Year: 2013

Type: conference-paper

Source: HAL

Authors: Bourouina, Hicham, Belgroune, Nadir, Hassein-Bey, Abdelkader, Khales, Hammouche, Yahiaoui, Reda, Sahar, Abdellah

Institutions: Centre de Développement des Technologies Avancées, Franche-Comté Électronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies

Language: French

Topic: Advanced MEMS and NEMS Technologies

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

OpenAlex ID: W4292680792

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