Work

极性、半极性和非极性InN薄膜的MOCVD外延生长与表征

Year: 2024
Type: article
Abstract: 2024年3月4日南京信息工程大学 电子与信息工程学院的赵见国、常建华团队和南京大学 电子科学与工程学院的刘斌团队在《发光学报》发文, 利用金属有机化合物化学气相沉积技术,在不同晶面的蓝宝石衬底上实现了极性面、半极性面和非极性面InN 薄膜的外延生长,并通过多种表征手段对三个不同极性面InN 薄膜的结构和光学特性进行了系统研究。通过扫描电子显微镜表面图发现,极性面InN 的表面形貌较光滑,而半极性和非极性InN 表面均存在未完全合并的孔洞。
Language: English
Open Access status: bronze
OpenAlex ID: W4392476988
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