Design of dynamic L-type impedance matching network in RF excited fast axial flow CO2 lasers
Year: 2024
Type: article
Abstract: 针对高功率轴快流CO2激光器射频放电阻抗的匹配问题，本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络，以实现射频激励轴快流CO2激光器在不同放电结构下射频功率的高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论，构建了多电极等效电路模型，提出向匹配网络中引入可调高压陶瓷电容的方法，设计了适用于高功率射频激励轴快流CO2激光器的动态L型匹配网络。模拟的动态L型匹配网络可向16根放电管注入60 kW射频功率，在12.81 Ω~49.94 Ω总负载阻抗范围内反射率小于1%。搭建了单管射频放电实验装置，实验测得动态L型匹配网络在4 kW注入功率下反射率小于1%，与仿真结果相符。上述结果表明引入可调高压陶瓷电容的动态L型匹配网络能够实现高动态范围内的阻抗匹配，基本满足高功率射频激励轴快流CO2激光器匹配电路的设计要求。
Source: Chinese Optics
Authors: Pan HUANG, Chong-xiao ZHAO, Zhu-jun DONG, Zhen ZHAO, Qi-kun PAN, Yu-ze FENG, Lai-ming ZHANG, Jin GUO, Air Force Equipment of the Military Representative Office in Changchun, Changchun 130102,China
Language: English
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4404239531