Scattering model for micro-defects on cavity mirrors in cavity ring-down spectroscopy instruments
Year: 2024
Type: article
Abstract: 针对腔衰荡光谱仪器（CRDS）中的腔镜微缺陷会导致测量精度下降的问题，本文建立了基于Bobbert Vlieger BRDF 理论的腔镜微缺陷散射模型，分析了微缺陷在不同光源波长、入射角度、缺陷量级、缺陷类型、缺陷密度、基底膜层的散射光特性。腔镜微缺陷散射模型研究表明：微米至亚微米（100 μm~0.1 μm）量级缺陷会降低衰荡吸收精度。针对该量级微缺陷的检测，构建了腔镜微缺陷散射和微缺陷暗场检测的分析模型。CRDS腔镜微缺陷散射光模型的建立与分析，是实现腔镜微缺陷高精度检测和CRDS测量精度恢复的关键技术。
Source: Chinese Optics
Authors: REN Yi-jie, ZHANG Zheng-tao
Language: English
Subfield: Spectroscopy
Field: Chemistry
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4404246812