CGH null compensation testing of high-order coaxial aspherical surfaces
Year: 2024
Type: article
Abstract: 为了解决同轴高次非球面的高精度面形检测问题，本文提出了一种基于CGH的同轴高次非球面零位补偿检测设计方法。利用所提方法，可以实现同轴非球面补偿设计中各衍射级次的有效分离，可实现对于待测镜面的零位补偿设计。结合工程实例，本文对一口径为260 mm的同轴高次非球面反射镜实现了零位补偿检测设计。从CGH设计结果可以看出，基于本文检测设计方法，其理论设计检测残差（RMS值）可以达到0 nm。此外，还完成了对于该同轴高次非球面反射镜的实际检测。针对检测过程中的误差源进行了误差分析，以验证本方法的可靠性与精度。
Source: Chinese Optics
Authors: WANG Shen, LIU Quan, GUO Cheng-li, YAN Li-song
Language: English
Subfield: Computer Vision and Pattern Recognition
Field: Computer Science
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4405014854