Work

Physical properties of LiNbO3 films with controlled stoichiometry grown by DLI-CVD

Year: 2024

Type: conference-paper

DOI: 10.1109/uffc-js60046.2024.10793940

Authors: Q. Micard, V. Astié, L. La Spina, S. Oliveri, P. Boulet, S. Margueron, J.M. Decams, A. Bartasyte

Institutions: Centre National de la Recherche Scientifique, Franche-Comté Électronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Université de Franche-Comté, Institut Jean Lamour, Université de Lorraine

Language: English

Topic: Ferroelectric and Piezoelectric Materials

Subfield: Materials Chemistry

Field: Materials Science

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

Funder: Agence Nationale de la Recherche

Awards: MAgneto-elastic coupling eXploitation for tunable and non-reciprocal rf Surface Acoustic Wave devices, Ingénierie et Innovation par les sciences physiques, les savoir-faire technologiques et l'interdisciplinarité, Towards Industrialisation of Direct Liquid Injection CVD Process for Alkaline Niobate Thin Films

OpenAlex ID: W4405517736

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