Work

Growth of 33°Y-LiNbO3 films on high-temperature stable Bragg mirrors for high-frequency BAW resonators

Year: 2024

Type: conference-paper

DOI: 10.1109/uffc-js60046.2024.10794090

Authors: S. Boujnah, L. Arapan, J. M. Carmona Cejas, M. Clement, Q. Micard, M. Ivan, V. Astié, P. De Visme, M. Micolle, F. Sthal, J.M. Decams, S. Margueron, A. Bartasyte

Institutions: Centre National de la Recherche Scientifique, Franche-Comté Électronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Université de Franche-Comté, Université Paris-Saclay, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, Universidad Politécnica de Madrid

Language: English

Topic: Acoustic Wave Resonator Technologies

Subfield: Biomedical Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

Funder: Agence Nationale de la Recherche

Awards: Ingénierie et Innovation par les sciences physiques, les savoir-faire technologiques et l'interdisciplinarité, Towards Industrialisation of Direct Liquid Injection CVD Process for Alkaline Niobate Thin Films

OpenAlex ID: W4405521643

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