Work

Optimized characterization methods for nanoimprinted pillar arrays on 200 mm wafers: Application to μLEDs

Year: 2024

Type: conference-paper

Source: HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)

Authors: Labchir, Nabil, Wehbe, Maya, Reche, Jerome, Petit-Etienne, Camille, Coulon, Pierre-Marie, Alloing, Blandine, Rabarot, Marc, Tortai, Jean-Herve, Charles, Matthew, Gourgon, Cécile

Institutions: Laboratoire des Technologies de la Microélectronique, Laboratoire d'Électronique des Technologies de l'Information, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, CEA Grenoble, Centre de Recherche sur l'Hétéro-Epitaxie et ses Applications, École Polytechnique Fédérale de Lausanne

Language: English

Topic: Nanofabrication and Lithography Techniques

Subfield: Biomedical Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

OpenAlex ID: W4407558289

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