Year: 2025
Type: article
Abstract: 随着微透镜的广泛应用，微透镜光学性能的快速检测是使用者和加工人员亟待解决的关键问题。提出利用哈特曼波前传感器来检测微透镜波前，从而快速表征其光学性能。为了验证该方法的可行性，设计了利用哈特曼传感器测量微透镜波前的总体方案，搭建了测量实验系统，并对测量的误差源进行了分析。结合实验方案，研究质心提取算法、Zernike多项式波前重构算法，保证光斑质心提取精度及波前重构精度，并分析了待测透镜孔径衍射对波前检测精度的影响。结合200 μm的凸透镜进行波前检测实验，得到了其波前误差和初级像差信息，为微透镜光学性能的快速检测提供了一种全新的思路。
Source: Journal of Applied Optics
Authors: YANG Weibin, 长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春 130022, WANG Chunyan, ZHANG Weiguo, WANG Jinyu, XIA Liangping, DU Chunlei, SUN Hao, 中国科学院重庆绿色智能技术研究院，微纳制造与系统集成研究中心，重庆 400714, 长江师范学院 微纳光电器件与智能感知系统重点实验室，重庆 408100, 珠海迈时光电科技有限公司，广东 珠海 519060
Language: English
Subfield: Atomic and Molecular Physics, and Optics
Field: Physics and Astronomy
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4408846757