Design of ellipsometry parametric stable measurement system based on double-elastic light
Year: 2025
Type: article
Abstract: 针对高精度、高重复性、快速实时的椭偏测量需求，研究了一种基于双弹光椭偏参量的稳定测量技术。对弹光调制型椭偏参量测量系统进行原理介绍，设计了一种椭偏参量稳定测量系统。利用多速率处理方法（即降采样方法），在减少现场可编程门阵列（FPGA）硬件资源使用的同时，能够达到窄带低通滤波的效果。对降采样中使用的CIC滤波器与FIR滤波器进行设计，采用数字锁相技术对双弹光调制光载波信号进行解调，获得椭偏参量的初始信息。随后设计了实验系统，并对已标定的Si基SiO2标准样品进行2 000次的测量验证。实验结果表明，将采样时间设置为20 ms时，椭偏参量幅值比和相位差的重复性精度均优于0.001°，测量样品的薄膜厚度重复性精度为0.001 nm，验证了该设计具有较好的测量重复性和较高的测量精度。
Source: Journal of Applied Optics
Authors: GUO Haojie, 中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051, ZHANG Rui, XUE Peng, XU Chengyu, LYU Jianning, WANG Zhibin, 中北大学 山西省光电信息与仪器工程技术研究中心，山西 太原 030051, 中北大学 电气与控制工程学院，山西 太原 030051, 中北大学 仪器与电子学院，山西 太原 030051
Language: English
Subfield: Biomedical Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4408908688