Detection of pollution defects in integrated circuit chips using short-wave infrared polarization imaging
Year: 2025
Type: article
Abstract: 针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求，设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品，样品偏振光经过显微镜收集，入射到由波片和检偏器构成的偏振分析装置，从而完成样品偏振图像测量。利用偏振图像融合技术将测量得到的图像进行融合，完成样品偏振图像特征提取，从而实现对集成电路芯片污染的缺陷检测。采用Op-Amp集成芯片对芯片的边缘和中心进行了测试实验。实验结果显示，本系统所测试的缺陷特征清晰、数量完整，能够提供重要依据，确保了集成电路芯片污染缺陷检测的准确性。
Source: Journal of Applied Optics
Authors: HE Zebin, 中北大学 半导体与物理学院，山西 太原 030051, CHEN Chang, YANG Junsheng, YANG Binglin, WANG Shuang, LI Kewu, WU Qiannan, 中北大学 电气与控制工程学院，山西 太原 030051, 中北大学 前沿交叉科学研究院，山西 太原 030051, 中北大学 仪器与智能省级未来技术学院，山西 太原 030051
Institution: North University of China
Language: English
Subfield: Biomedical Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4408908819