Year: 2025
Type: article
Abstract: 为了满足对光学镜头的中心偏差测量精度需求越来越高的要求，本文提出了基于全视场外差干涉的中心偏差测量方法。该方法采用了实际透镜光轴作为测量基准，通过测量被测透镜的反射光束与参考光束产生的干涉条纹获取波前并进行Zernike多项式拟合，然后将Zernike倾斜项系数转换为被测透镜的中心偏差，实现了对中心偏差的高精度测量，解决了对外部旋转台的依赖。基于外差干涉和中心偏差检测原理，分析了激光强度波动和外差频率波动对波前和中心偏差测量结果的影响，结果表明，测量误差与激光强度波动和外差频率波动正相关，且受到被测镜曲率，中心偏差影响。搭建了基于外差干涉的中心偏测量系统，实现了中心偏差的高精度测量，并与仿真结果进行了对比。仿真结果表明该系统的测量精度不低于0.06″，并通过实验验证了仿真结果。研究结果表明与传统的自准直法中心偏测量方法相比，外差干涉的测量方法可以实现更高的测量精度。
Source: Optics and Precision Engineering
Authors: Yongkang YANG, Anqi LIU, Wenxi ZHANG, Zhou WU
Language: English
Subfield: Computer Vision and Pattern Recognition
Field: Computer Science
Domain: Physical Sciences
Open Access status: bronze
OpenAlex ID: W4411527804