Microsecond ultra-high speed ellipsometry measurement technology based on differential evolutionary algorithm
Year: 2025
Type: article
Abstract: 针对传统机械旋转补偿器型椭偏测量时间分辨率低、稳定性较差等问题，提出一种基于差分进化算法的穆勒矩阵求解系统模型，在此基础上结合超高速弹光调制实现了全穆勒矩阵微秒级测量。首先，通过对双驱动弹光调制器（photoelastic modulator，PEM）的工作模式展开研究，证明了在纯行波模式下，能够实现快轴方向的快速且周期性的旋转；然后，设计并加工了驱动频率分别为60 kHz和100 kHz的PEMs，构建了基于双驱动PEM的超高速椭偏测量模型，通过差分进化算法进行光强拟合，建立了穆勒矩阵求解系统模型，求解得到其光学周期在微秒级，对样品穆勒矩阵所有元素拟合的均方误差均小于0.001。
Source: Journal of Applied Optics
Authors: WANG Saifei, 中北大学 仪器与电子学院，山西 太原 030051, ZHANG Rui, XUE Peng, XU Chengyu, WANG Zhibin, 中北大学 山西省智能微波光电技术创新中心，山西 太原 030051, 中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051, 中北大学 电气与控制工程学院，山西 太原 030051
Language: English
Subfield: Biomedical Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4412687467