可见/近红外多波段激光滤光膜的研制
Year: 2025
Type: article
Abstract: 滤光片作为光电探测系统中的关键部件，能够简化光学系统并提高探测效率。根据使用需求，需要设计并制备出一种多达5个波段的可见/近红外滤光膜，同时满足2个波段高反射和3个波段高透过的要求。因此，本文对膜系设计、薄膜制备工艺以及膜层厚度的控制精度进行了系统研究。在本工作中，将短波通膜系与长波通膜系进行叠加，并调整膜系的周期数和匹配系数，以满足截止波段的要求。此外，运用Smith方法对带通膜系进行优化透过波段，从而完成可见/近红外多波段激光滤光膜的设计。在制备过程中，结合膜层的灵敏度，通过反演分析对各光学监控片所监控的膜层。对监控过程中光信号较弱的光学监控方案进行模拟和修正，并匹配光信号较强的监控波长，进而提高了膜层厚度的控制精度以及在指定波长范围内的透过率。最终，制备的滤光膜实际物理厚度为9.66微米，与理论设计厚度的误差小于0.4%，且3个透过波段的透过率均超过99%。在455~500 nm和910~1000 nm波段的平均透过率分别为0.45%和0.16%。
Source: Chinese Optics
Authors: Ya-wu XIN, Yong-chao PENG, Yu-xiang ZHANG, Xing-yu CAO, Yang HAN, Hong-ling GUO, Shi-fu XIONG, Zhang-gui HU
Language: English
Subfield: Surfaces, Coatings and Films
Field: Materials Science
Domain: Physical Sciences
Open Access status: hybrid
OpenAlex ID: W4413902603