Simulation of a Semiconductor Manufacturing Research and Development Cleanroom
Year: 2025
Type: conference-paper
Source: Winter Simulation Conference
Institutions: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, CEA Grenoble, Laboratoire d'Électronique des Technologies de l'Information, Centre National de la Recherche Scientifique, Laboratoire des Sciences du Numérique de Nantes, IMT Atlantique, Nantes Université, Mines Saint-Étienne, Laboratoire d'Informatique, de Modélisation et d'Optimisation des Systèmes
Language: English
Subfield: Control and Systems Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W7125584126