Gestuurde zelfassemblage van blokcopolymeren als aanvulling voor extreem ultraviolet lithografie
Year: 2026
Type: dissertation
Source: Lirias
Author: Van Bel, Julie
Language: English
Subfield: Materials Chemistry
Field: Materials Science
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W7140069648
Cites:
Cited by:
Related to: