Year: 2025
Type: conference-paper
Abstract: Yarimo‘tkazgichli materiallar fizikasi sohasida piezoqarshilik effekt muhimahamiyat kasb etadi, ayniqsa kremniy va polikristall kremniy kabi moddalar asosida sensorlar ishlabchiqishda. Piezoqarshilik — bu materialning elektr qarshiligining tashqi mexanik kuchlanishga bog‘liqholda o‘zgarish xossasidir. Piezoqarshilik sensorlar nafaqat mikromexanik tizimlarda (MEMS), balkiavtomatlashtirish, kosmik va biotibbiyot sohalarida keng qo‘llaniladi.
Author: A.X. Suvanov, J.R. Nematullayev
Institution: Namangan davlat texnika universiteti
Subfield: Biomedical Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: gold
OpenAlex ID: W7204236654