Direct Imaging of Accumulated Charges in Electric Double Layer by Three-Dimensional Open-Loop Electric Potential Microscopy
Year: 2026
Type: article
Abstract: オープンループ電位顕微鏡(OL-EPM)は，原子間力顕微鏡(AFM)を基盤として開発された液中ナノスケール表面電位分布計測技術である．近年我々は，この技術に電気化学制御機能と探針の3次元走査機能を融合させた，3次元OL-EPM (3D-OL-EPM)を開発した．この技術により，電気二重層内に蓄積された電荷に起因する局所的な電位分布をナノスケールの分解能で3次元観察できるようになってきた．本稿では，OL-EPM技術の原理を解説した後，それを用いた界面電荷蓄積挙動やCu配線腐食の解析事例を紹介する．
Source: Denki Kagaku
Author: Takeshi FUKUMA
Institution: Kanazawa University
Language: English
Subfield: Atomic and Molecular Physics, and Optics
Field: Physics and Astronomy
Domain: Physical Sciences
Open Access status: diamond
OpenAlex ID: W7208760951