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Cellule microfabriquée multi-axes pour capteurs atomiques intégrés : procédé de fabrication et démonstration en magnétométrie

Year: 2026

Type: conference-paper

Abstract: Nous présentons une cellule à vapeur alcaline microfabriquée ayant trois accès optiques orthogonaux. Un procédé niveau wafer (gravure Si/verre et refusion thermique) permet l'intégration de fenêtres latérales de qualité optique sans polissage. La magnétométrie à résonance de champ nul sur Cs/N₂ montre un plancher de sensibilité de 200 fT/√Hz.

Source: HAL

Authors: Péroux, Linda, Dewilde, Arthur, Mursa, Andrei, Mazzamurro, Aurélien, Bonhomme, Jérémy, Tanguy, Quentin, Klinger, Emmanuel, Gauthier-Manuel, Ludovic, Gaiffe, Olivier, Talbi, Abdelkrim, Boudot, Rodolphe, Pernod, Philippe, Clément, Jean-François, Maurice, Vincent, Passilly, Nicolas

Institutions: Centre National de la Recherche Scientifique, Université de Lille, Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, Centrale Lille Institut, Franche-Comté Électronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies

Language: English

Topic: Atomic and Subatomic Physics Research

Subfield: Atomic and Molecular Physics, and Optics

Field: Physics and Astronomy

Domain: Physical Sciences

Open Access status: green

OpenAlex ID: W7214134305

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