Work

Preliminary evaluation of the influence of the temperature on the performance of a piezoresistive pressure sensor based on a-SiC film

Year: 2011

Type: article

Source: Microsystem Technologies

DOI: 10.1007/s00542-011-1244-8

Authors: M. A. Fraga, M. Massi, H. Furlan, I. C. Oliveira, L. A. Rasia, C. F. R. Mateus

Institutions: Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Faculdade de Tecnologia de São Paulo, Instituto de Estudos Avançados da Universidade de São Paulo

Language: English

Topic: Advanced MEMS and NEMS Technologies

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

Funders: Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo, Financiadora de Estudos e Projetos, Universidade Estadual de Campinas

OpenAlex ID: W2000979383

FWCI: 1.084

Cites: 17

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