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Room temperature Si–Ti thermopile THz sensor

Year: 2014

Type: article

Source: Microsystem Technologies

DOI: 10.1007/s00542-014-2252-2

Authors: Sofiane Ben Mbarek, Sébastien Euphrasie, Thomas Baron, Laurent Thiery, Pascal Vairac, Danick Briand, Jean-Paul Guillet, Laurent Chusseau

Institutions: Centre National de la Recherche Scientifique, Franche-Comté Électronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Université de Franche-Comté, École Polytechnique Fédérale de Lausanne, Institut d'Électronique et des Systèmes, Université Montpellier 2

Language: English

Topic: Terahertz technology and applications

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: green

Funder: Agence Nationale de la Recherche

Award: Continous wave near-field terahertz microscopy

OpenAlex ID: W2014664707

FWCI: 0.162

Cites: 21

Cited by: 5

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