高出力パルスマグネトロンスパッタリング(hppms)を用いた酸化アルミニウムコーティングの反応性スパッタ堆積
Year: 2004
Type: article
Authors: W D Sproul, D J Christie, D C Carter
Language: Japanese
Subfield: Mechanics of Materials
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W204613293