Work

Physikalisch‐chemische Vorgänge beim Plasmaätzen mit fluorhaltigen Ätzgasen

Year: 1982

Type: article

Source: Beiträge aus der Plasmaphysik

DOI: 10.1002/ctpp.19820220208

Authors: H. U. Poll, H. Schlemm

Language: English

Topic: Low-Pressure Plasma Processing and Diagnostics

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

OpenAlex ID: W2071975527

FWCI: 1.636

Cites: 5

Cited by: 7

Related to: 10