DETERMINATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF GaAs AND InP BY MULTIPLE ANGLE OF INCIDENCE ELLIPSOMETRY
Year: 1983
Type: article
Abstract: L'éllipsométrie à plusieurs angles d'incidence ϕ a été utilisée pour déterminer les constantes optiques de GaAs et de InP. Cette méthode n'a jusqu'ici été appliquée ni à GaAs ni à InP. Les quotients normalisés des premières dérivées de Ɗ par rapport aux constantes optiques sont calculés pour GaAs et InP. Il est démontré, que c'est seulement dans la gamme étroite de ϕ entre 72° et 77°, pour des longueurs d'onde entre 436 et 870 nm, qu'il n'existe pas de corrélation entre les paramètres. Dans cette gamme d'angles, il n'y a, pour une longueur d'onde donnée, que quelques solutions discrètes pour les constantes optiques. Pour trouver la solution vraie, il faut effectuer des mesures à des longueurs d'onde différentes, en exigeant que nox et dox restent inchangés. Les résultats obtenus pour GaAs et InP sont présentés.
Source: Le Journal de Physique Colloques
Author: H. W. Dinges
Institution: Deutsche Bundespost
Language: English
Subfield: Atomic and Molecular Physics, and Optics
Field: Physics and Astronomy
Domain: Physical Sciences
Open Access status: green
OpenAlex ID: W2085035884