Fluorine plasma treatment on SU-8 polymer for integrated optics
Year: 2004
Type: article
Source: Optics Communications
Institutions: Centre National de la Recherche Scientifique, Institut Universitaire de France, Institut des Matériaux Jean Rouxel, Institut de Physique de Rennes, Le Mans Université, Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans, École Normale Supérieure Paris-Saclay, Laboratoire de Photonique Quantique et Moléculaire
Language: English
Topic: Photonic and Optical Devices
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W2086976983