Anlagenkonzept für die Abscheidung dünner Schichten durch Plasmapolymerisation
Year: 1996
Type: article
Source: Vakuum in Forschung und Praxis
Authors: Hans‐Ulrich Poll, Steffen Schreiter
Language: German
Subfield: Materials Chemistry
Field: Materials Science
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W2088461024