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디스플레이 공정용 유도 결합형 플라스마 시스템에서의 전자기적 특성 연구

Year: 2014

Type: article

Authors: 오선근, 이영준, 김병준, 전재홍, 서종현, 최희환

Language: Korean

Topic: Low-Pressure Plasma Processing and Diagnostics

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

OpenAlex ID: W2216680485

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