Surface morphology, structural and electrical properties of RF-sputtered ITO thin films on Si substrates
Year: 2018
Type: article
Source: Bulletin of Materials Science
Institutions: University Ferhat Abbas of Setif, Centre National de la Recherche Scientifique, Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, Université Polytechnique Hauts-de-France, Université de Lille, Centrale Lille Institut
Language: English
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: green
OpenAlex ID: W2803301642