Determination of airborne organic contaminants in clean-room air by silicon powder adsorption-solvent extraction-GC/MS analysis
Year: 2004
Type: article
Abstract: 半導体用クリーンルームの大気中に存在する分子状有機物質に関し，シリコン基板に吸着しやすく，かつ熱的に不安定な物質を評価するため，シリコン粒子吸着－溶媒抽出－ガスクロマトグラフィー/質量分析法を確立した．抽出条件について，溶媒の種類，抽出方法を検討し，ヘキサンによる滴下抽出法が最適であることが分かった．熱的不安定物質であるフタル酸ジ-2-エチルヘキシル（DEHP），2,6-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェノール（BHT）の標準試薬を用い，溶媒抽出法と従来の加熱脱離法による測定結果を比較したところ，加熱脱離法ではDEHP，BHTの変性生成物が検出されたが，本法では，両成分とも変性せずに評価が可能であった．なお，本法での検出下限は，DEHP: 2 ng/m3，フタル酸ジブチル（DBP）: 2 ng/m3，DEHA: 0.6 ng/m3であった．更に，実際のクリーンルーム大気を測定した結果，DBP，DEHP，DEHAが16～80 ng/m3存在することが判明した．
Source: BUNSEKI KAGAKU
Institution: Toshiba (Japan)
Language: English
Subfield: Analytical Chemistry
Field: Chemistry
Domain: Physical Sciences
Open Access status: diamond
OpenAlex ID: W41599902