PB7 RF型ECRスパッタ装置によるZnO圧電膜の特性(ポスターセッションB)
Year: 1992
Type: article
Source: 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Language: Japanese
Subfield: Electrical and Electronic Engineering
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: closed
OpenAlex ID: W426570396