INVESTIGATION OF THE STRUCTURE AND MECHANICAL PROPERTIES OF TiN COATINGS OBTAINED BY MAGNETRON SPUTTERING
Year: 2024
Type: article
Abstract: В данной статье показано, что основными технологическими параметрами метода магнетронного напыления являются диапазон расстояний мишень-подложка и соотношение разрядного напряжения в вакуумной камере при распылении газа под давлением (азот-аргон). Обнаружено влияние расстояний мишень-подложка после обработки на кристалличность пленки. Изучена структура и поведение тонких пленок нитрида титана. Проведена серия экспериментов в рамках изучения влияния расстояния мишень-образец на микроструктуру нанопленки. Выявлены изменения роста нанопленки и размера зерен в формирующей наноструктуре при напылении. Исследование шероховатости поверхности выявило необходимость оптимизации режима нанесения пленки под давлением.
Source: Bulletin of D Serikbayev EKTU
Authors: G. Yerbolatova, A. Kassymova, D. Yerbolat
Language: Russian
Subfield: Mechanics of Materials
Field: Engineering
Domain: Physical Sciences
Open Access status: bronze
OpenAlex ID: W4401433939