Work

Снижение Искажений На Стыках Расчётных Областей При Коррекции Эффектов Оптической Близости В Фотолитографии

Year: 2026

Type: conference-paper

Source: Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу

DOI: 10.22184/1993-8578.2026.19.13s.544.550

Authors: А.Ф. Московцев, Е.Л. Клочкова, И.Д. Капкин, В.В. Иванов

Institution: Research Institute of Molecular Electronics

Language: Russian

Topic: Advancements in Photolithography Techniques

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

OpenAlex ID: W7203636627

FWCI:

Cites:

Cited by:

Related to: 10