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Analysis of titanium species in titanium oxynitride films prepared by plasma enhanced atomic layer deposition

Year: 2016

Type: article

Source: Surface and Coatings Technology

DOI: 10.1016/j.surfcoat.2016.11.094

Authors: Małgorzata Kot, Karsten Henkel, Chittaranjan Das, Simone Brizzi, Irina Kärkkänen, Jessica Schneidewind, Franziska Naumann, Hassan Gargouri, Dieter Schmeißer

Institutions: Brandenburg University of Technology Cottbus-Senftenberg, SENTECH Instruments (Germany)

Language: English

Topic: Semiconductor materials and devices

Subfield: Electrical and Electronic Engineering

Field: Engineering

Domain: Physical Sciences

Open Access status: closed

Funders: Deutsche Forschungsgemeinschaft, Bundesministerium für Bildung und Forschung

Awards: Rahmenvorhaben: Innovationsmanagement - Zukunft des Technologietransfers in strukturschwachen Regionen, F&E-Modul: Weiterentwicklung und Überführung der PE-ALD-Technologie in ein industriell nutzbares Verfahren , TP1: Reaktorentwicklung, G2797632677, Innovationsmanagement - Zukunft des Technologietransfers in strukturschwachen Regionen, F&E-Modul: Weiterentwicklung und Überführung der PE-ALD-Technologie in ein industriell nutzbares Verfahren, TP2: Prozessentwicklung

OpenAlex ID: W2558367248

FWCI: 1.144

Cites: 42

Cited by: 21

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