Investigation of Electron Beam Damage on All-solid-state Battery Materials for AES Chemical Mapping
Year: 2022
Type: article
Abstract: 次世代電池として注目されている全固体電池は，固体電解質と正極界面で形成される内部抵抗の低減が実用化に向けて大きな課題となっている．本研究では，走査型オージェ電子分光分析装置（SAM: Scanning Auger Microprobe）が搭載されたマルチテクニックXPS装置を用いて，固体電解質/正極断面の観察を試みた．一般に固体電解質材料は電子線によるダメージが顕著である．そこでまず，LiPON表面への電子線ダメージを定量的に評価し，AES化学状態マッピングのための励起電子線の条件を最適化した．さらに，最適化した条件を用いる事で，LiPON/LiCoO2断面のLi化学状態マッピングの評価も可能である事を示した．
Source: Journal of Surface Analysis
DOI: 10.1384/jsa.29.25
Institution: Ulvac-Phi (Japan)
Language: English
Subfield: Surfaces, Coatings and Films
Field: Materials Science
Domain: Physical Sciences
Open Access status: diamond
OpenAlex ID: W4377201463